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YS-100真空等离子清洗机

真空等离子清洗机,气体通过激励电源离化成等离子态,等离子体作用于产品表面,清洗产品表面污染物,提高表面活性,增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。
  • 产品介绍
  • 执行标准
  • 售后服务

【适用范围】:
真空等离子清洗机,气体通过激励电源离化成等离子态,等离子体作用于产品表面,清洗产品表面污染物,提高表面活性,增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。

【产品详情】:
手机行业:TP、中框、后盖表面清洗活化
PCB/FPC行业:孔内钻污及表面清洁、Coverlay表面粗化及清洁
半导体行业:半导体封装、摄像头模组、LED封装、BGA封装、Wire Bond前处理
陶瓷:封装、点胶前处理
 表面粗化蚀刻:PI表面粗化、PPS蚀刻、半导体硅片PN结去除、ITO膜蚀刻
塑胶材料:Teflon特氟龙表面活化、ABS表面活化、以及其他塑料材质清洗活化
ITO涂覆前表面清洗
产品放置治具灵活多变,可适应不规则的产品
水平电极设计,可满足软性产品处理需求。
低耗能、耗气产品。
便捷的收放板方式
真空系统集成,占地面积小
合理的等离子反应空间,使处理更均匀
集成的控制系统设计,使操作更方便
【技术规格】:

电源系统

 

射频电源

中频电源

功率

0~600W

0~2000W

频率

13.56MHz

40KHz

真空系统

 

双级旋片泵(油泵)

60m3/h

真空管路

全不锈钢管路,以及高强度真空波纹管

材质

铝合金(可定制不锈钢腔体)

厚度

25mm

密封性

军工级焊接密封

腔体内部尺寸

450×450×500mm(宽×高×深)

电极板有效尺寸

420×411mm(宽×深)

可用空间间距

22.5mm

电极板布置方式

水平布置,可活动抽取

工作托盘

标配一套,材质可选配(铝材、钢丝网)

工作空间

8层

气体系统

流量范围

0~300SCCM

工艺气体气路

标配两路,可定制

控制系统

系统控制

PLC

交付方式

7寸触控屏幕

其它参数

外形尺寸

900×1750×1000mm(宽×高×深)

重量

200KG

设备外观颜色

银灰色

  

厂务规格要求

厂务规格要求

交流电源规格

电源:AC380V,50/60Hz,5线,50A

厂务排气

流量:2.0 m³/min

厂务工作气体要求

流量:1~10 L/min

压力:3~7 kg/cm²

管径:6×4 mm

材质:PU管

纯度:99.99%以上

厂务压缩空气要求

流量:1~10 L/min

压力:3~7 kg/cm²

管径:8×5 mm

材质:PU管

露点:-40℃以下

Particle>0.3μm:10Pcs/ft³

 

一般规格

一般规格

危险标识

高压危险标识

使用环境

温度:15~30℃

湿度:30~70%

其他注意事项

不可有可燃性气体,腐蚀性气体,爆炸或反应性粉尘

气瓶需固定

 

配置清单

配置清单

序号

名称

描述说明

单位

数量

1

主机

外形尺寸:900×1750×1000mm宽×高×深)

1

2

真空腔体

铝合金真空腔体

内尺寸450×450×500mm(宽×高×深)

1

3

激励电源

射频电源

中频电源

1

频率:13.56MHz;

功率0~600W

或0~1000W可选;

全自动真空电容匹配器

频率:40KHz;

0~1000W;

 

4

PLC

德国西门子,S7-200

1

5

触摸屏

威纶通,七寸屏幕,MT6071iE

1

6

流量计

英国wawick品牌

2

7

真空泵组

飞越双级旋片泵(油泵):60m3/h

1

8

真空计

英福康

1

9

说明书

真空等离子清洗机WBE-100操作说明书

1

 

维护保养

维护保养

项目

检查内容

寿命

检查频率

油泵

滤芯

使用时间2000H

15天

泵油

使用时间2000H

15天